等離子廢氣處理設備適用范圍廣，凈化，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫(yī)藥等行業(yè)。 占地面積??；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止，隨用隨開。但一次性投資稍高，有些企業(yè)就難以接受，但從長遠角度看，這樣的技術儀器是不錯的。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿?nbsp;  物質，或使物質轉變成   或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。等離子體內部產生富含   化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較   量的活性基團發(fā)生反應，   終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

等離子體降解廢氣是利用這些   電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解污染物的目的。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環(huán)境污染處理中的一項具有強潛在優(yōu)勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。